一般單筒顯微鏡金相顯微鏡僅需配用單色光,并在試樣上裝置標準平面玻璃就可以做多光束干涉的金相研究。多光束干涉顯微鏡的光程如圖3,它與一般金相顯微鏡的構造基本相同。標準平面玻璃靠樣品的一面涂有半透明的銀(或鋁)的薄膜,又稱為干涉試片,干涉試片可以是平面的,或不同曲率的。如MeF顯微鏡備有六個具有不同反射能力及不同曲率半徑的試片,使用時要根據(jù)觀察物的表面曲率及對光的吸收能力進行選擇。見表1:有強反射能力的試樣(如金屬),應選用涂銀半透明的試片;當物體為凹入形狀時,應選表面為凸起形狀的試片,目的是使干涉試片與物體盡可能靠近。
為了得到細而清晰的干涉條紋,發(fā)展了多光束干涉顯微鏡。即使光線在兩平行(或近乎平行)的平面問多次反射而產生多光束干涉。以顯示磨面上更微小的高度差。
多光束干涉顯微裝置要求入射光為單色強平行光,紫外物鏡且盡可能垂直入射試樣表面;干涉平面必須非常均勻地噴鍍一層金屬薄膜,并且鍍層應具有高反射系數(shù)及低吸收率;兩反射面問的距離愈小愈好,zui大不超過入射光波長的幾倍。
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