一、物鏡縮寫定義
二、物鏡符號
三、物鏡系列清單
*1 DIC棱鏡 U-DICR: UM/LM位置,U-DICRHC:LM位置固定,U-DICRH:UM位置固定。
*2 40X: BF僅
*3 5–20X: 也可U激發(fā)。
#:響應(yīng); #:最佳響應(yīng); BF:明場;DF:暗場;DIC:微分干涉差;POL:偏光; FL:熒光。
四、各系列物鏡的特點
1.MPLAPON系列: M型平場復(fù)消色差
該系列復(fù)消色差物鏡具有最佳的校正色差水平。奧林巴斯為其光學(xué)性能(波 陣面像差校正)提供95%或更高斯特列爾比(Strehl Ratio)**擔(dān)保*。該系列物 鏡可與奧林巴斯U-AFA2M有源自動聚焦單元一起使用。
2.MPLAPON100XO2: M型平場復(fù)消色差
該平場復(fù)消色差物鏡采用油浸設(shè)計***,其數(shù)值孔徑為1.45。該物鏡具有出色 的色差校正和高分辨率。 MPLFLN系列:M型平場半復(fù)消色差—第3-3頁 該系列平場復(fù)消色差物鏡可對色差進(jìn)行高級別校正。該系列的八款物鏡具有 1.25倍至100倍的放大倍率,最小工作距離為1 mm(40倍率除外)。由于 5X–100X物鏡的出瞳位置已經(jīng)標(biāo)準(zhǔn)化,因此在更換放大倍率時無需切換DIC 棱鏡的位置(40X不適用于DIC觀察)。對于極低的放大倍率(1.25倍,2.5 倍),可將物鏡與檢偏器、起偏器和反射光照明器一起使用。 3.LMPLFLN系列:長工作距離M型平場復(fù)消色差物鏡
該系列長工作距離平場半復(fù)消色差物鏡可對色差進(jìn)行高級別校正。由于工作 距離長,此類物鏡特別適合觀察較大尺寸的樣品。由于5X–100X物鏡的出瞳 位置已經(jīng)標(biāo)準(zhǔn)化,因此在更換放大倍率時無需切換DIC棱鏡的位置。 MPLN系列:M型平場消色差物鏡-第3-5頁 平場復(fù)消色差物鏡FN 22的出色圖像平面度。 4.LCPLFLN-LCD系列:LCD長工作距離M型平場半復(fù)消色差物鏡
此類物鏡專門設(shè)計用于通過LCD面板以及對其他帶有玻璃基板的樣品進(jìn)行觀 察。校正環(huán)可提供與玻璃厚度匹配的像差校正。 SLMPLN系列:超長工作距離M型平場消色差物鏡-第3-7頁 此類物鏡均為具有超長工作距離的高倍率平場消色差物鏡??商峁┤N放大 倍率:20X、50X和100X。5X或10X物鏡可從LMPLFLN系列中選擇。
5.LMPLN-IR系列:紅外長工作距離M型平場復(fù)消色差物鏡
該系列物鏡專為近紅外顯微鏡而設(shè)計,通常用于觀察硅晶片的內(nèi)部結(jié)構(gòu)。
6.LCPLN-IR系列:紅外長工作距離M型平場復(fù)消色差物鏡
該系列物鏡專為近紅外顯微鏡而設(shè)計,通常用于觀察硅晶片的內(nèi)部結(jié)構(gòu)。此 類物鏡配有可根據(jù)硅或玻璃基板厚度校正像差的校正環(huán)。
7.MPLFLN-BD系列:M型平場半復(fù)消色差物鏡BD
該系列平場半復(fù)消色差物鏡能夠最少1 mm的工作距離實現(xiàn)色差的高級別校 正。由于5X–150X物鏡的出瞳位置已經(jīng)標(biāo)準(zhǔn)化,因此在更換放大倍率時無需 切換DIC棱鏡的位置。
8.MPLFLN-BDP系列:M型平場半復(fù)消色差物鏡BDP
該系列平場半復(fù)消色差物鏡能夠最少1 mm的工作距離實現(xiàn)色差的高級別校 正。由于5X–100X物鏡的出瞳位置已經(jīng)標(biāo)準(zhǔn)化,因此在更換放大倍率時無需 切換DIC棱鏡的位置。該系列針對明場、暗場和偏光觀察進(jìn)行優(yōu)化,并可用 于微分干涉相差觀察。
9.LMPLFLN-BD系列:長工作距離型平場半復(fù)消色差物鏡BD
該系列長距離工作計劃半復(fù)消色差物鏡可對色差進(jìn)行高級別校正,適用于觀 察高度或形貌變化的樣品。由于5X–100X物鏡的出瞳位置已經(jīng)標(biāo)準(zhǔn)化,因此 在更換放大倍率時無需切換DIC棱鏡的位置。
10.MPLN-BD系列:M型平場復(fù)消色差物鏡BD
該系列平場復(fù)消色差物鏡可實現(xiàn)高達(dá)FN 22的出色圖像平面度。
11.WLI100XMRTC系列:白光干涉測量物鏡
該物鏡設(shè)計用于與Mirau型白光干涉儀配合使用,并可以承受高溫。該物鏡 的工作距離為0.7 mm,并具有可獲得更出色聚光效果的優(yōu)化數(shù)值孔徑0.8。
* 使用奧林巴斯干涉儀評估的測量擔(dān)保適用于以下條件下進(jìn)行的透射光波陣 面測量:溫度23°C + 1°C;在瞳徑97%范圍內(nèi)進(jìn)行的測量。
** 斯特列爾比:以百分比(%)表示實際光學(xué)系統(tǒng)所匯聚光束的強度與理想 無像差光學(xué)系統(tǒng)在像平面匯聚光束強度(中心強度)的比值,以后者的值 作為100%。百分比越高,表示光學(xué)系統(tǒng)的質(zhì)量越好。
*** 認(rèn)定用油: IMMOIL-F30CC